QCO-6F 晶圓干燥退火銀漿固化用無氧化烤箱
特點： 1.可設定間歇性排氣，避免氮氣浪費 2.可指示爐內(nèi)壓力，確保使用安全 3.六點式溫度檢測，監(jiān)控爐內(nèi)溫度 4.水循環(huán)降溫，縮短制程時間 5.內(nèi)外不銹鋼制作，方便保潔，壽命長 6.溫度均勻度良好，溫差小
關鍵詞：
無氧化烤箱
QCO-6F
產(chǎn)品詳情
簡介：無氧化烘箱在工作時，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2或者N2,形成高溫、低氧（無氧）或者潔凈環(huán)境（無氧潔凈烤箱），防止材料在烘烤時被氧化。
結構設計：該設備是一種新型工業(yè)級干燥設備，采用長軸耐高溫大功率軸流風機，不銹鋼渦輪扇葉，結合獨特設計風道，智能PID溫控器結合SSR固態(tài)繼電器控制高效不銹鋼發(fā)熱器加熱，形成溫度均勻的高溫熱風，對箱體內(nèi)部進行加熱，確保烘箱內(nèi)部達到理想的溫度環(huán)境。
用途：適用于半導體、光電元件、能原材料、通訊產(chǎn)品、機電產(chǎn)品等作無氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理；封裝測試；光刻工藝有機聚合物膜預固化、堅膜、銀漿固化、模后固化、電鍍退火；基板除潮、晶圓干燥退火等
規(guī)格表
| 型號 | QCO-3F-2D | QCO-2 | QCO-2ES | QCO-2DF | QCO-4F | QCO-6F | QCO-4DF-800 |
| 電源 | AC380V 50Hz 15KVA | AC380V 50Hz 6KVA | AC380V 50Hz 6KVA | AC380V 50Hz 15KVA | AC380V 50Hz 8KVA | AC380V 50Hz 12KVA | AC380V 50Hz |
| 內(nèi)尺寸 WxDxH (mm) |
710*610*560* 2箱 | 610*610*610 | 600*600*600 | 710*610*560* 2箱 | 600*600*900 | 800*800*1000 | 750*800*600* 4箱 |
| 外尺寸 WxDxH (mm) |
1460*1058*1780 | 1260*980*1060 | 1250*850*1280 | 1460*1058*1780 | 960*980*1680 | 1080*1060*1780 | 2900*1100*1710 |
| 溫度范圍 | 常溫-- 250℃ | 常溫-- 250℃ | 常溫-- 200℃ | 常溫-- 250℃ | 常溫-- 200℃ | 常溫-- 200℃ | 常溫-- 250℃ |
| 溫度均勻度 | ±1%℃ | ±1%℃ | ±1.5%℃ | ±1%℃ | ±2%℃ | ±2%℃ | ±1%℃ |
| 結構設計 | 雙門雙控 | 單門 | 單門 | 雙門雙控 | 單門 | 單門 | 四門四控 |
| 控制系統(tǒng) | 采用CAHO-P961多段溫度控制器，PID自動演算，LED數(shù)字顯示及設定，薄膜設定，精確度±0.3%FS, 9999計時器 | ||||||
| 配置 | 1.采用防爆門扣； 2.空氣過濾兩點組合； 3.三色指示：黃色待機指示，綠色運轉(zhuǎn)指示，紅色超溫指示； 4.配合烘烤流程，控制氮氣及空氣之啟閉，避免氮氣浪費及降溫速度及設計； 5.出風側(cè)加裝細孔不銹鋼網(wǎng)； 6.內(nèi)壓檢測裝置； 7.配備六點式溫度檢測儀， 可實時檢測爐內(nèi)溫度，確保溫度穩(wěn)定. | ||||||
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